エチレンオキサイド (EtO) 滅菌は、主に、電子部品、プラスチック包装またはプラスチック容器を組み込んだデバイスなど、従来の高温蒸気滅菌をサポートできない医療および医薬品の滅菌に使用されます。
EtO ガスは、パッケージだけでなく製品自体にも浸透し、生産またはパッケージング プロセス中に残った微生物を殺します。このガスは、少なくとも 3% の EtO ガスの比率で空気と混合され、爆発性混合物を形成します。純粋な EtO ガスの沸点は大気圧で 10.73 ºC です。ほとんどの場合、窒素または CO2 と混合されます。この爆発状態では、人々の安全とプロセス自体の安全のために、本質安全材料 (ATEX) ゾーニングが必要です。