ETO 滅菌段階

システムが安定した状態で始動できるようにするためのサイクル始動遅延
一般的なセル温度チェック
初期真空段階
リークレートテスト
最初のフラッシュ
セカンドフラッシュ
DEC (動的環境調整)
EtO ガス注入
EtO下での滅菌滞留時間
滞留後の真空レベル
最初の洗浄
2回目の洗浄
最終航空入場料
最終チャンバー再避難の遅れ